슈퍼을 ASML이 선보일 다음 버전 EUV는?
하이 NA EUV로 다가가는 ASML 인텔의 기술 개발 책임자인 앤 켈러허는 26일(현지시간) SPIE 리소그래피 콘퍼런스에 참여해 "ASML의 새로운 하이 NA EUV 리소그래피 시스템(High NA EUV lithography system)이 '첫 번째 빛'에 도달했다"고 언급했습니다. '첫 빛'은 이 장비가 빛에 민감한 화학 물질로 처리된 실리콘...
