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SK머티리얼즈, 불화수소 국산화 성공 배경은
딜사이트 정혜인 기자
2020.06.17 10:09
SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다. 초고순도 불화수소 가스는 반도체 제조에 쓰이는 세정 가스로, 해외 제품에 100% 의존해 왔다. 하지만 일본의 수출 규제 등으로 자체 기술개발에 심혈을 기울인 끝에 첫 국산화라는 성과를 이루게 됐다. SK머티리얼즈는 지난해 말 초고순도 불화수소 가스 시제품 개발에 ...
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