삼성전자, 1c D램 EUV 레이어수 줄여…수율 '초점'
수율 확보에 총력을 기울이고 있는 삼성전자가 극자외선(EUV) 노광 장비를 적용하는 레이어 수를 당초 계획보다 줄이는 방향으로 가닥을 잡았다. 10나노급 6세대(1c) D램에서는 EUV 적용 레이어를 추가하려던 계획을 수정했고, 7세대(1d) D램에서는 증가폭을 크게 둔화시킨 것으로 전해진다. 최첨단 공정으로 전환할수록 EUV 레이어 수 자체가 늘어나는...
