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삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입 外

삼성, 美 테일러에 'EUV 펠리클' 우선 도입[전자신문] 22일 업계에 따르면 삼성전자는 미국 텍사스주 테일러 팹에 EUV 펠리클 설비를 발주했다. 에프에스티(FST)가 250억원 규모 EUV 펠리클 탈·부착 장비와 검사 장비 등을 수주해 공급한다. EUV 펠리클은 노광 공정의 포토마스크에 장착하는 초박막 보호 부품이다. 앞서 경쟁사인 TSMC는 2019...

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